世界各國均有自定規格， 但普遍依據美國聯邦政府頒布的標準， 可將無塵室分為六級。 分別是 1 級、 10 級、 100 級、 1000 級、 10000 級、 100000 級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為 0.5 μm ，例如， 1 級、 10 級、 100 級無塵室最大塵粒數目分別小于或等于 1 顆、 10 顆、 100 顆，如果塵粒尺寸不是 0.5 μm ，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如： 10 級在 0.2 μm( 塵粒尺寸在 0.2 μm 或更大下，密度不大于 75 顆/ 立方英尺 )，1 級在 0.1 μm( 塵粒尺寸在 0.1 μm 或更大下，密度不大于 35 顆/立方英尺 )。
一、萬級潔凈室的標準(按塵粒數目和微生物數目來定義的):
1.塵粒允許數(每立方米)：大于或等于0.5微米的粒子數不得超過350000個；大于或等于5微米的粒子數不得超過2000個。
2.微生物允許數：浮游菌數每立方米不得超過100個；沉降菌數每培養皿不得超過3個。
二、萬級潔凈室主要檢測內容包括：
1.氣流速度及其均勻度檢測。這項檢測是無塵室效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區的平均氣流通度及其均勻性。
2.系統或房間的風量檢測。
3.室內潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數器檢測。
4.自凈時間的檢測。通過確定自凈時間，查明潔凈室內部發生污染時恢復其原有潔凈度的能力。
5.氣流流型檢測。
6.噪聲的檢測。
7.照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
8.振動的檢測。振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度。
9.溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測無塵室的送風溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度，檢測無塵室中心點的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內空氣相對溫度，檢測回風溫度。
10.總風量和新風量的檢測。
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